交換相互作用力の測定装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-097132
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288620
出願日： 1997年04月15日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】試料と探針との間に働く交換相互作用力を、探針が試料に近接することによる引き込みの影響を受けることなく原子分解能で正確に測定する装置を提供する。【解決手段】試料21と、振動するカンチレバー23に取り付けた探針24との間に働く交換相互作用力を測定するために、試料と探針とを、これらの伝導電子の波動関数が重なり始まるところから局在電子の波動関数が殆ど重ならないところまでの近接領域で対向させる。カンチレバーにピエゾ素子31を設け、これに供給する制御信号をカンチレバーの変位に応じて生成することによりカンチレバーのバネ定数を変化させて探針が試料表面に引き込まれるのを阻止する。ピエゾ素子31への制御信号から試料と探針との間に作用する交換相互作用力を測定する。

請求項（抜粋）：

それぞれに局在したスピンが存在し、少なくとも一方に伝導電子が存在する試料および探針を、相互の離間距離が、伝導電子雲(波動関数)が重なり始めるところから局在電子雲(波動関数)が殆ど重ならないところまでの近接領域で対向させてこれら試料および探針間に働く交換相互作用力を測定する装置において、前記探針を支持する弾性部材と、この弾性部材の、前記交換相互作用力による変位を測定する変位測定手段と、試料および探針間に働く力に抗して弾性部材の弾性力を制御して試料と探針とが接触するのを防止する制御手段と、前記弾性部材の変位に基づいて試料と探針との間に働く交換相互作用力を求める交換相互作用力検出手段とを具えることを特徴とする交換相互作用力の測定装置。

IPC (2件)：

G01N 37/00 , G01B 7/34

FI (2件)：

G01N 37/00 F , G01B 7/34 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

カンチレバー
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-117326 出願人：オリンパス光学工業株式会社
原子間力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-169392 出願人：株式会社ニコン
特開平1-259210

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