特許
J-GLOBAL ID：200903010731535966
光導波路及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-219834
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062638
出願日： 1996年08月21日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】均一性及び平坦化に優れ、且つ低損失な光導波路及びその製造方法を提供することにある。【解決手段】コア領域、クラッド領域、及びバッファ層の一部又は全部を熱硬化型無機高分子ポリマー前駆体を出発原料とするガラス膜によって形成したこと、スピンコート法と熱分解時の雰囲気によって屈折率を制御する方法を用いたことにある。
請求項（抜粋）：
半導体、ガラス、高分子樹脂の何れかより成る基板上に形成された光導波路に於いて、該光導波路を構成する略矩形断面なコア領域、クラッド領域、及びバッファ層の一部又は全部を熱硬化型無機高分子ポリマー前駆体を出発原料とするガラス膜によって形成することを特徴とする光導波路。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 M
, G02B 6/12 N
