半導体製造条件指示方法及び装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-053708
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267805
出願日： 1993年03月15日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】半導体製造時における製造条件を正確に、かつ迅速に指示することで製品の条件間違いによるミスを低減する。【構成】半導体の製造条件を指示する際に、製品の品種、工程の入力から製造可能設備群を特定し、設備の稼働状況に応じて設備を1台選択することで1つの製造条件を指示出力する計算機とその出力と入力を行う端末計算機からなり、出力を指示表示、もしくは計算機信号出力を行う。【効果】生産に条件を間違えて不良になるようなケースを排除でき歩留りを向上できる。

請求項（抜粋）：

製造設備の製造する条件に関わる情報を、製造製品の型式と製造工程から検索し、該検索結果は、前記製造製品の型式の該製造工程の製造可能設備群であり、当該設備群の一つの設備の選択から、前記製造設備の製造する条件を出力することを特徴とする半導体製造条件指示方法。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-241760
特開昭61-241115
特開平2-292810

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