特許
J-GLOBAL ID：200903010750362690
表面欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-090118
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267637
出願日： 1997年03月25日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 被検査面の広い範囲を検査面が曲面であっても、検査精度を高く維持したまま塗装面の欠陥を検査できる表面欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】 検査用光照射手段3を、所定の長さを有する板状透明部材9と、この板状透明部材9に対しその一端部の切り口から光を入力する光源13と、板状透明部材9より長い所定の反射面部材15とにより構成し、板状透明部材9の表裏両面に光を反射する反射部材17を被覆すると共に、当該板状透明部材9と反射面部材17をその長さ方向の一端部を揃えて相互に積層し、光源13を板状透明部材9の一端部近傍に配置した。
請求項（抜粋）：
被検査物の表面に所定の光度分布を有する検査用光を照射する検査用光照射手段と、前記被検査物の表面から反射される反射光を画像として取り込む反射画像検出手段と、この反射画像検出手段によって取り込まれた画像を処理する画像処理手段とを備えた表面欠陥検査装置において、前記検査用光照射手段を、所定の長さを有する板状透明部材と、この板状透明部材に対しその一端部の切り口から光を入力する光源と、前記板状透明部材より長い所定の反射面部材とにより構成し、前記板状透明部材の表裏両面に光を反射する反射部材を被覆すると共に、当該板状透明部材と前記反射面部材をその長さ方向の一端部を揃えて相互に積層し、前記光源を前記板状透明部材の一端部近傍に配置したことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/30
, G01N 21/88
, G06T 7/00
G01B 11/30 Z
, G01N 21/88 Z
, G06F 15/62 400
