特許
J-GLOBAL ID：200903010751510455
プローブ先端クリーニング部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-060059
公開番号（公開出願番号）：特開平7-244074
出願日： 1994年03月03日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 複数回のクリーニングを繰り返してもプローブの先端が研磨されず、プローブの寿命を長い間保つことができるようにする。【構成】 シリコンゴム又はウレタンゴムからなる弾性を有する母材にアルミナ、シリコンカーバイト又はダイヤモンド粉である微粉研磨材200を混入し、全体しとてプローブにより電気的諸特性の測定が行われる半導体ウエハと同一形状、同一寸法に形成されている。
請求項（抜粋）：
プローブの先端に付着した異物を除去するプローブ先端クリーニング部材において、弾性を有する母材に微粉研磨材を混入してなることを特徴とするプローブ先端クリーニング部材。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
