固体撮像素子及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-087193
公開番号（公開出願番号）：特開2001-274369
出願日： 2000年03月27日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】高精細な固体撮像素子であっても感度低下、及びノイズ増加のない、レンズ間ギャップ0.3μm以下の開口率の高い固体撮像素子、及びその製造方法を提供すること。【解決手段】マイクロレンズ11がエッチングレートの高いアンダーコート層13上に設けられ、且つマイクロレンズの裾部に、その領域を拡張する形状に選択的に透明樹脂12が配設されたこと。平坦化層16とアンダ-コート層13の塗布積層工程と、マイクロレンズ形成層及びマイクロレンズ11とする工程と、透明樹脂層を塗布形成する工程と、選択的に透明樹脂12を配設するエッチング工程、を有すること。

請求項（抜粋）：

複数の光電変換素子と樹脂による複数のマイクロレンズを備えた固体撮像素子において、該マイクロレンズがマイクロレンズ材料よりエッチングレートの高い透明樹脂によるアンダーコート層上に設けられており、且つマイクロレンズの裾部に、マイクロレンズの領域を拡張する形状に選択的に透明樹脂が配設されたマイクロレンズであることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (4件)：

H01L 27/14 , G02B 3/00 , H01L 31/0232 , H04N 5/335

FI (5件)：

G02B 3/00 A , H04N 5/335 V , H04N 5/335 U , H01L 27/14 D , H01L 31/02 D

Fターム (20件)：

4M118AA05 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA10 , 4M118CA03 , 4M118EA01 , 4M118EA20 , 4M118FA06 , 4M118GC08 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 5C024CX13 , 5C024CX41 , 5C024CY47 , 5C024EX43 , 5F088BB03 , 5F088EA04 , 5F088JA03 , 5F088JA06 , 5F088JA12

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