特許
J-GLOBAL ID：200903010757464498
プラズマを用いたハンダ付け方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本城 雅則 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-166730
公開番号（公開出願番号）：特開平5-177343
出願日： 1992年06月03日
公開日（公表日）： 1993年07月20日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、プラズマを使用するハンダ付け装置および方法を提供することを目的とする。【構成】 励起したプラズマ18を形成するために、水素-窒素混合気体を使用するプラズマを用いたハンダ付け方法は、ハンダ40を同時にクリ-ニングし、加熱する。本発明では125パスカル1torr程度の比較的低い真空度のみを必要とする。プラズマ18に対しては熱源を必要とせず、ハンダ40をリフロし、フラックスは必要とはならない。温度の影響を受けやすい部品24は、プラズマ・イオン20ボンバ-ドからシ-ルドされ26、使用されるハンダ40の融点にもちこたえる必要はない。本発明による方法は、鉛-スズハンダ40に適切であり、金メッキされたポスト34と適合した金メッキされたホ-ル・ライニング38との接合部分で、テフロン-ガラスが塗布された配線板に対してポリエチリミド・ベ-ス板32をハンダ付けすることも可能である。
請求項（抜粋）：
第1表面および第2表面は直接互いに隣接し、前記第1表面および前記第2表面の接合部分にハンダ(40)を堆積する段階;チャンバ内に前記第1表面,前記第2表面および前記ハンダ(40)を配置する段階;前記チャンバ(10)を低い圧力に排気する段階;前記チャンバ(10)内にプラズマ(18)を提供する段階;前記プラズマ(18)を励起する段階;前記第1表面,前記第2表面および前記ハンダ(40)を前記プラズマ(18)と共にクリ-ニングする段階;前記プラズマ(18)と共に前記ハンダ(40)を加熱する段階;および前記第1表面,前記第2表面上に前記ハンダ(40)をリフロし、前記第1および第2表面の間にハンダ結合を形成する段階;から構成されることを特徴とするフラックスを使用しないプラズマを用いたハンダ付け方法。
IPC (3件)：
B23K 1/00
, B23K 10/02
, H05K 3/34
