特許

J-GLOBAL ID：200903010760738043

電子放出素子の製造方法、電子源および画像形成装置

発明者： 富田 佳紀
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-111763
公開番号（公開出願番号）：特開平10-289653
出願日： 1997年04月15日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】 青板ガラスを用いて電子放出素子を製造した場合においても、該電子放出素子を長時間にわたって駆動した場合にナトリウムの影響を受けることなく、大面積化が可能で、高分解能な電子放出素子を大量生産できる電子放出素子の製造方法を提供する。【解決手段】 対向する電極間に電子放出部を有する電子放出素子の製造方法において、金属化合物含有水溶液を電極間に付与する工程と前記金属化合物を加熱焼成する工程とを有し、前記金属化合物が、金属と分子内に珪素および/またはリンを含む中性配位子とから形成される有機金属錯塩であることを特徴とする前記方法。

請求項（抜粋）：

対向する電極間に電子放出部を有する電子放出素子の製造方法において、金属化合物含有水溶液を電極間に付与する工程と前記金属化合物を加熱焼成する工程とを有し、前記金属化合物が、金属塩と分子内に珪素および/またはリンを含む中性配位子とから形成される有機金属錯塩であることを特徴とする電子放出素子の製造方法。

IPC (3件)：

H01J 9/02 ,  H01J 1/30 ,  H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 9/02 E ,  H01J 1/30 E ,  H01J 31/12 C