特許
J-GLOBAL ID：200903010763797024

研磨装置

発明者：
狛 豊

狛 豊 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-329913
公開番号（公開出願番号）：特開2001-138219
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：
【要約】【課題】 被加工物に面焼けや破損を生じることなく、又装置自体を損傷させることなく高精度に且つ効率良く研磨できるようにした研磨装置を提供する。【解決手段】 チャックテーブル5に保持された被加工物Wを研磨装置の研磨手段7に位置付け、スピンドル送り手段13でスピンドルユニット12の送り速度を調整しながら研磨部8で研磨する。研磨時に研磨圧力により生じる研磨抵抗値を研磨抵抗値検出手段14のキスラー動力計A、B、Cで検出し、その検出信号を判断手段15に入力して所定の閾値内にあるか否かを判断する。閾値内にあると判断された場合は、速度制御装置16から速度維持の指令信号を研磨装置のCPUに入力してスピンドルユニット12の送り速度を不変に維持し、閾値を超えたと判断された場合は、加速指令又は減速指令によりスピンドルユニット12の送り速度を適正に調整する。
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、このチャックテーブルに保持された被加工物の表面を研磨する研磨手段とから少なくとも構成され、この研磨手段は、被加工物を研磨する研磨部と、この研磨部が装着されるマウンターと、このマウンターを支持するスピンドルと、このスピンドルを回転可能に支持すると共に回転駆動源を有するスピンドルユニットと、このスピンドルユニットを前記被加工物に接近又は離反する方向に所定の送り速度で送るスピンドル送り手段とを含み、前記チャックテーブルは、被加工物を保持する保持部と、この保持部を支持する支持部とを含む研磨装置において、この研磨装置には、前記被加工物を研磨する際に生じる研磨抵抗値を検出する研磨抵抗値検出手段と、この研磨抵抗値検出手段からの抵抗値信号を受信しその信号が所定の閾値内であるか否かを判断する判断手段と、この判断手段が所定の閾値を超えたと判断した場合に前記スピンドル送り手段の送り速度を適正に調整する送り速度制御手段と、が配設されている研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622
FI (2件)：
B24B 37/00 Z ,  H01L 21/304 622 R
Fターム (14件)：
3C058AA04 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AA14 ,  3C058AB04 ,  3C058AC02 ,  3C058BA04 ,  3C058BA09 ,  3C058BB09 ,  3C058BC03 ,  3C058CB01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB06 ,  3C058DA17
引用特許：
審査官引用 (6件)
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