特許
J-GLOBAL ID：200903010769855557

MEMSミラー装置および光ディスク装置

発明者：
松井 勉

松井 勉 について


出願人/特許権者：
船井電機株式会社

船井電機株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-128559
公開番号（公開出願番号）：特開2004-334966
出願日： 2003年05月07日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：
【課題】共振周波数における共振ピーク量を低減したMEMSミラー装置およびこのMEMSミラー装置を備えて正確なトラッキング制御を可能とした光ディスク装置を提供する。【解決手段】矩形状のフレームと、一方の面に反射手段を有し、前記フレームの内側にヒンジを介して連結されるミラー部と、前記ヒンジを軸として前記ミラー部を傾斜させるための駆動手段と、を備えたMEMSミラー装置において、前記フレームは、前記ヒンジとの連結部分の両側に所定の間隔をおいてフレーム内側に延びる2つの突起部を有し、前記ヒンジを跨いで前記2つの突起部を架橋するように弾性部材を設けるようにした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
矩形状のフレームと、一方の面に反射手段を有し、前記フレームの内側にヒンジを介して連結され前記フレームと同一面内に形成されたミラー部と、前記ヒンジを揺動軸として前記ミラー部を揺動させるための駆動手段と、を備えたMEMSミラー装置において、 前記フレーム、ミラー部、およびヒンジは、同一の材料で一体に形成され、 前記駆動手段は、前記ミラー部の反射面とは他方の面に配線された8字型電磁コイルと、前記電磁コイルに電流を流した際に該電磁コイルの所定の部位に前記ミラー部を揺動させる方向にローレンツ力が生じるような磁界を発生させる永久磁石と、で構成され、 前記フレームは、前記ヒンジとの連結部分の両側に所定の間隔をおいてフレーム内側に延びる2つの突起部を有し、 前記ヒンジを跨いで前記2つの突起部を架橋するようにゲル状の高分子樹脂からなる弾性部材を設けたことを特徴とするMEMSミラー装置。
IPC (1件)：
G11B7/09
FI (1件)：
G11B7/09 E
Fターム (9件)：
5D118AA23 ,  5D118DC07 ,  5D118EA02 ,  5D118EC01 ,  5D118EC07 ,  5D118FA15 ,  5D118FA16 ,  5D118FB06 ,  5D118FB13
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
  • 光ピックアップ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-022145   出願人：オリンパス光学工業株式会社
  • マイクロミラー素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-203152   出願人：富士通株式会社, 富士通メディアデバイス株式会社
  • ガルバノミラーの減衰構造
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-232155   出願人：オリンパス光学工業株式会社
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