特許
J-GLOBAL ID：200903010775371030
クリーンルームの通気制御方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-137039
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174280
出願日： 1991年05月14日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 使用条件に適合した所望の低空気流速度に設定でき、しかも作動音が小さいクリーンルーム通気システムを提供する。【構成】 クリーンルームの天井は、分子フィルタ物質から成る複数のパネルから成る。このようなパネルの内の少なくともいくつかには、互いに近接した第1及び第2穿孔プレートから成る空気ダンパが設けられている。第1プレートは固定されており、第2プレートは第1プレートに対して平行移動可能に取り付けられている。第2プレートを第1プレートに対して移動させることにより、それらに形成されている穿孔が選択的に開閉され、この結果、各パネルを通過する空気量が調整されることになる。ルーム全体の空気流は、ブロアの可変空気流特性によって制御される。
請求項（抜粋）：
回転軸を持つ回転羽根型ホイールと、回転軸に関して同心状に形成された回転表面形状を呈し前記ブロアによって移動する空気体積を変化させるバフルと、バフルをホイールに対して望遠鏡的移動させることによってブロアにより移動される空気体積を変化させる手段と、を有する遠心ブロアと、それを通って空気がブロアから部屋上方の領域へ移動可能なプリナムと、分子フィルタと通気量を制御するための調整バフルとを有し、前記プリナムと部屋とを分離する吊下天井と、を含むことを特徴とするクリーンルームの通気制御装置。
IPC (3件)：
F24F 7/06
, F24F 13/10
, F24F 13/12
