特許
J-GLOBAL ID:200903010781329828

不良検査方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 佐藤 辰彦 ,  鷺 健志 ,  本間 賢一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-199490
公開番号(公開出願番号):特開2006-023123
出願日: 2004年07月06日
公開日(公表日): 2006年01月26日
要約:
【課題】物品の所定の位置に発生する不良を確実に検出することができる不良検査方法及びその装置を提供する。【解決手段】物品2の被検査面の所定位置に発生する線状に延びる窪み部11を不良としてその有無を検査する不良検査方法であって、被検査面を撮像する第1撮像工程と第2撮像工程とを設ける。第2撮像工程に先立って、被検査面の中心を通る垂線を軸とした物品2の回転角度を検出する角度検出工程を行い、次いで、窪み部の長手方向に交差する光の照射方向を算出する照射方向算出工程を行う。第2撮像工程においては、照射方向算出工程によって算出された方向から被検査面に向かって傾斜する指向性を有する光を照射する光照射工程を行う。第2撮像工程の後に、第2撮像工程による画像から不良が発生する領域を抽出して検査画像を生成する検査画像生成工程を行い、次いで、検査画像から不良の有無を判定する判定工程を行う。【選択図】図1
請求項(抜粋):
被検査面を備える物品に対して、該被検査面の所定位置に発生する線状に延びる窪み部を不良として該不良の有無を検査する不良検査方法であって、 前記被検査面を撮像する第1撮像工程と、 該第1撮像工程により得られた画像に基づいて、被検査面の中心を通る垂線を軸とした物品の回転角度を検出する角度検出工程と、 前記不良とされる窪み部の長手方向に交差する方向を光の照射方向として、該角度検出工程により検出された角度から、前記被検査面への光の照射方向を算出する照射方向算出工程と、 該照射方向算出工程によって算出された方向から、前記被検査面に向かって傾斜する指向性を有する光を照射する光照射工程と、 該光照射工程によって照明された前記被検査面を撮像する第2撮像工程と、 該第2撮像工程により得られた画像から前記不良が発生する領域を抽出して検査画像を生成する検査画像生成工程と、 該検査画像生成工程により生成された画像に基づいて、前記不良の有無を判定する判定工程とを備えることを特徴とする不良検査方法。
IPC (1件):
G01N 21/90
FI (1件):
G01N21/90 C
Fターム (6件):
2G051AA21 ,  2G051AB03 ,  2G051BA02 ,  2G051BB02 ,  2G051BC01 ,  2G051CA04
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (9件)
  • 検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2001-372951   出願人:アジアエレクトロニクス株式会社, 四日市東芝エレクトロニクス株式会社, 株式会社東芝
  • 特開昭59-012338
  • 特開平2-099806
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