活性結合剤を有する超砥石

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-592107
公開番号（公開出願番号）：特表2002-534281
出願日： 1999年12月08日
公開日（公表日）： 2002年10月15日
要約：

【要約】硬く剛性の砥粒、ならびに金属成分および活性金属成分を含む焼結結合剤から形成される、平形で薄いモノリス砥石は優れた剛性を示す。金属成分は多くの焼結可能な金属組成物から選択されうる。活性金属は焼結条件で砥粒と反応して結合を形成しうる金属であり,砥粒および焼結結合剤を砥粒強化複合材に統合するのに十分な量で存在する。ダイヤモンド砥粒、銅/スズ/チタン焼結結合剤砥石が好適である。このような砥石は、シリコンウエハおよびアルミナー炭化チタンパックの切断のようなエレクトロニクス産業における研磨操業に有用である。新規な砥石の剛性は従来のモノリス砥石よりも高く、したがって改良された切断精度および比較的少ない切りくずが、砥石の厚さの増加および同伴するカーフ損失の増加を招くことなく達成されうる。

請求項（抜粋）：

約20〜2500μmの範囲の均一な幅を有する、平形の砥粒強化研磨ディスクからなる砥石であり、約2.5〜50 vol%の砥粒、ならびに焼結の際に砥粒と化学結合を形成し、金属成分と活性金属とを含む、補充的量の結合剤から本質的になり、活性金属および砥粒は同一であるが活性金属を含まない組成の研磨ディスクの弾性率値よりも少くとも10%高い弾性率値を有する砥粒強化研磨ディスクを製造するのに有効な量で存在する、砥石。

IPC (9件)：

B24D 5/12 , B24D 3/00 320 , B24D 3/00 330 , B24D 3/00 , B24D 3/00 340 , B24D 3/00 350 , B24D 3/02 310 , B24D 3/06 , B24D 3/34

FI (9件)：

B24D 5/12 Z , B24D 3/00 320 B , B24D 3/00 330 D , B24D 3/00 330 G , B24D 3/00 340 , B24D 3/00 350 , B24D 3/02 310 A , B24D 3/06 A , B24D 3/34 Z

Fターム (20件)：

3C063AA02 , 3C063AB03 , 3C063BB02 , 3C063BB03 , 3C063BB04 , 3C063BB15 , 3C063BB19 , 3C063BC02 , 3C063BD01 , 3C063BG07 , 3C063CC04 , 3C063CC05 , 3C063CC19 , 3C063EE10 , 3C063EE15 , 3C063EE31 , 3C063FF06 , 3C063FF08 , 3C063FF21 , 3C063FF23

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