特許

J-GLOBAL ID：200903010782990650

光学式寸法測定器

発明者： 藤原 憲明
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 倉田 政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-215333
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052522
出願日： 1991年08月27日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：

【要約】【目的】走査光学系Aと受光光学系Bを一体化してコストの低減を図ると共に、測定に必要なスペースを節約可能な光学式寸法測定器を提供する。【構成】光ビームを照射方向と垂直に等速度で走査する走査光学系Aと、走査光学系Aからの光ビームを反射するように配置された平面ミラー55と、平面ミラー55で反射された光ビームを集光する受光光学系Bと、光ビームの光路中に配置された被測定物5と、受光光学系Bでの受光時間に基づいて被測定物5の寸法を出力する信号処理回路系とを備える。【効果】反射型の光学系を構成でき、走査光学系Aと受光光学系Bを一体化して、被測定物5に対して同じ側に配置できる。被測定物5の背面には、平面ミラー55を配置するスペースがあれば良いので、測定スペースを節約できる。

請求項（抜粋）：

光ビームを照射方向と垂直に等速度で走査する走査光学系と、走査光学系からの光ビームを反射するように配置された平面ミラーと、平面ミラーで反射された光ビームを集光する受光光学系と、光ビームの光路中に配置された被測定物と、受光光学系での受光時間に基づいて被測定物の寸法を出力する信号処理回路系とを備えることを特徴とする光学式寸法測定器。