特許

J-GLOBAL ID：200903010784148280

表示装置の製造方法とエッチング装置及びエッチング方法

発明者： 貝田 浩一 ,  菅野 幸保
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-273636
公開番号（公開出願番号）：特開2001-100165
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】 液晶パネルの軽量化を目的としたエッチングでは、互いに貼り合わされた基板全体をエッチング液に浸漬する為、基板外周に保護用のシール材を塗布しなければならず、作業が複雑化するとともに、余分なスペースが必要になる。特に、一対の基板を貼り合わせた後外周のシール材に形成した開口を封止しなければならない為、封止作業が追加となり生産性を落としていた。【解決手段】 エッチング装置1は、所定の厚みを有する基板2の面をエッチングして厚みを削るために、出入口4,5が形成された閉鎖端部6とこれに対向する開放端部7とを有する容器3と、容器3の開放端部7を基板2の面に密接して閉鎖空間9形成する接続手段と、出入口4,5からエッチング液13を供給して閉鎖空間9を満たし基板2の面をエッチングする供給手段とを有する。基板表面のみを選択的にエッチングできるので、特別に基板端面などを保護する必要がない。

請求項（抜粋）：

所定の厚みを有する基板の表面に少なくとも電極を形成する形成工程と、該基板の裏面をエッチングして厚みを削り薄型化を図るエッチング工程と、該電極に重ねて電気光学層を配する積層工程とを行なう表示装置の製造方法において、前記エッチング工程は、出入口が形成された閉鎖端部とこれに対向する開放端部とを有する容器を用意する準備手順と、該容器の開放端部を該基板の裏面に密接して閉鎖空間を形成する閉鎖手順と、該出入口からエッチング液を供給して該閉鎖空間を満たし該基板の裏面をエッチングする処理手順とを含むことを特徴とする表示装置の製造方法。

IPC (6件)：

G02F 1/13 101 ,  C03C 15/00 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1339 505 ,  G09F 9/00 338 ,  H01L 21/306

FI (6件)：

G02F 1/13 101 ,  C03C 15/00 C ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1339 505 ,  G09F 9/00 338 ,  H01L 21/306 J

Fターム (35件)：

2H088FA03 ,  2H088FA18 ,  2H088FA21 ,  2H088HA01 ,  2H088HA06 ,  2H088HA08 ,  2H088MA20 ,  2H089NA39 ,  2H089NA60 ,  2H089QA11 ,  2H089QA12 ,  2H089TA01 ,  2H089TA07 ,  2H089TA09 ,  2H090JB02 ,  2H090JC19 ,  2H090LA03 ,  2H090LA04 ,  4G059AA08 ,  4G059AC03 ,  4G059BB04 ,  5F043AA30 ,  5F043AA40 ,  5F043DD23 ,  5F043DD30 ,  5F043EE03 ,  5F043EE15 ,  5F043EE35 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435BB06 ,  5G435BB12 ,  5G435EE33 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10