特許

J-GLOBAL ID：200903010787274731

マスフローセンサおよびこのマスフローセンサを用いた赤外線ガス分析計

発明者： 中川 亘 ,  大石 満 ,  宇野 正裕
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-165692
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005433
出願日： 1994年07月19日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】対をなす感熱素子の中間位置で空間的に離れた位置に加熱素子を配備し、感熱素子と加熱素子とで急激な温度勾配を有する温度場を形成し、高感度な零点安定性の高いマスフローセンサを提供する。【構成】素子の長辺側が対向配置される少なくとも1対の感熱素子(123,124),(125,126) と、加熱素子150 と、からなり、感熱素子(123,124),(125,126) と加熱素子150 とが1つの温度場を形成し、対をなす感熱素子(123,124),(125,126) は、無風状態で温度場が熱的に対象位置に配置し、加熱素子150 は、対をなす感熱素子(123,124),(125,126) を含む第1の平面から空気層を介して所定距離隔たった第2の平面上に、対をなす感熱素子(123,124),(125,126) の長辺側と平行に配置される。

請求項（抜粋）：

素子の長辺側が対向配置される少なくとも1対の感熱素子と、加熱素子と、からなり、前記感熱素子と前記加熱素子とが1つの温度場を形成し、対をなす感熱素子は、無風状態で前記温度場が熱的に対象位置に配置し、加熱素子は、対をなす感熱素子を含む第1の平面から空気層を介して所定距離隔たった第2の平面上に、前記対をなす感熱素子の長辺側と平行に配置される、ことを特徴とするマスフローセンサ。

IPC (3件)：

G01F 1/68 ,  G01N 21/35 ,  G01N 21/61