特許
J-GLOBAL ID：200903010788671769
スピン処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-222589
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064874
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 基板の保持をガイドする基板ガイドピンの偏摩耗を防止し、この基板ガイドピンの寿命が延長されたスピン処理装置を提供すること。【解決手段】 スピンテーブル19を有し、このスピンテーブル19上に基板20を載置して処理するスピン処理装置10において、上記スピンテーブル19には基板保持手段が設けられており、この基板保持手段は、上記基板20の下面を支持する基板支持手段と、回転自在に設けられたガイドローラ32を有し、このガイドローラ32が上記基板20の外周面に係合する基板ガイド手段と、を有することを特徴としている。この構成によると、上記基板保持手段は、上記基板の下面を支持する基板支持手段と、上記基板の外周に当接するガイド部分が回転自在なガイドローラであり、このガイドローラが上記基板の外周面に係合するため、ガイドローラが回転すれば基板と基板保持手段が常に同じ当接部分で接触することがなく、よって基板保持手段の寿命が延長される。
請求項（抜粋）：
スピンテーブルを有し、このスピンテーブル上に基板を載置して処理するスピン処理装置において、上記スピンテーブルには基板保持手段が設けられており、この基板保持手段は、上記基板の下面を支持する基板支持手段と、回転自在に設けられたガイドローラを有し、このガイドローラが上記基板の外周面に係合する基板ガイド手段と、を有することを特徴とするスピン処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 361
, H01L 21/68
H01L 21/304 361 S
, H01L 21/68 N
