特許

J-GLOBAL ID：200903010789105481

クリーンルーム清浄度維持システム

発明者： 三谷 智洋
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-259133
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082070
出願日： 1992年09月02日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：

【要約】【目的】 ダウンフローの空気流を有したクリーンルーム内に配置した装置、テーブル等の障害物の存在やその稼働状況による影響により、ルーム内の特定部位に塵埃が集中し、その結果製品に対して塵埃が付着する可能性が高まり、歩留の低下をもたらすことを防止できるクリーンルーム清浄度維持システムの提。【構成】 内部にダウンフローの空気流を形成することにより塵埃を下方へ強制移動せしめるクリーンルームにおいて、該クリーンルーム内の適所に複数のエアー吸入手段を設けると共に、該エアー吸入手段から導入した空気中に含まれる塵埃濃度が基準値を越える場合にその旨をコントローラに報知するダストカウンタを設け、該空気流はクリーンルーム上部に設けたクリーンエアユニットから送風され、該クリーンエアユニットはクリーンエアの吹き出し方向及び風量が可変である。

請求項（抜粋）：

内部にダウンフローの空気流を形成することにより塵埃を下方へ強制移動せしめるクリーンルームにおいて、該クリーンルーム内の適所に複数のエアー吸入手段を設けると共に、該エアー吸入手段から吸入した空気中に含まれる塵埃濃度が基準値を越える場合にその旨をコントローラに報知するダストカウンタを設けたことを特徴とするクリーンルーム清浄度維持システム。