特許
J-GLOBAL ID：200903010789385816
ステージ付き顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 健二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-247434
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074850
出願日： 1998年09月01日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：
【要約】【課題】ウエハ検査のスループットを向上し、ステージの構成を簡略化する。【解決手段】本発明は、略円形のウエハを、ウエハの受け渡し部から光学系の光軸位置まで移動し、更に所定の座標位置に移動させるステージが設けられた顕微鏡に関する。受け渡し部と観察位置との間に、ウエハの外周形状と、ウエハのノッチまたはオリエンテーションフラットの位置とを検出するセンサが設けられる。受け渡し部から光軸位置までウエハを移動しながら、ウエハの外周形状からステージの基準位置とウエハの中心位置との偏芯誤差を検出し、ノッチまたはオリエンテーションフラットの位置からステージに対するウエハの偏角誤差を検出し、所定の座標位置から偏芯誤差及び偏角誤差を除いた補正後の位置にステージを移動することを特徴とする。ウエハの受け渡し部から顕微鏡の光軸に移動する間に、ウエハの偏芯と偏角誤差を検出することができるので、スループットを向上させ、ステージの機構を簡単にすることができる。
請求項（抜粋）：
略円形のウエハを、該ウエハが受け渡される受け渡し部から光学系の光軸の位置まで移動させ、更に所定の座標位置に移動させるステージが設けられた顕微鏡において、前記受け渡し部と観察位置との間に設けられ、前記ウエハの外周形状と、前記ウエハのノッチまたはオリエンテーションフラットの位置とを検出するセンサを有し、前記受け渡し部から光軸位置まで前記ウエハを移動しながら、前記ウエハの外周形状からステージの基準位置と前記ウエハの中心位置との偏芯誤差を検出し、前記ノッチまたはオリエンテーションフラットの位置から前記ステージに対する前記ウエハの偏角誤差を検出し、前記所定の座標位置から前記偏芯誤差及び偏角誤差を除いた補正後の位置に前記ステージを移動することを特徴とするステージ付き顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, H01L 21/68 K
2G051AA51
, 2G051AC15
, 2G051CA04
, 2G051DA05
, 5F031CA02
, 5F031FA07
, 5F031FA12
, 5F031HA59
, 5F031JA03
, 5F031JA04
, 5F031JA34
, 5F031JA35
, 5F031MA33
