特許

J-GLOBAL ID：200903010799510597

描画装置、描画方法、デバイス及び電子機器

発明者： 水谷 誠吾
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 渡邊 隆 ,  志賀 正武 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-135878
公開番号（公開出願番号）：特開2004-337707
出願日： 2003年05月14日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【課題】ノズル詰まりにより、基板に描画したパターンに欠陥が発生した場合であっても、ラインを停止させることなく、略同時に欠陥部分を捕集することができる描画装置を提供する。【解決手段】基板P上の所定位置に液状体を配置してパターンPAを描く描画装置において、複数のノズル211から基板Pに向けて液状体を吐出する第1吐出部10と、第1吐出部10と基板Pとを相対移動させる第1移動部と、第1吐出部10が描画したパターンPAの欠陥部分Dを検出する描画検査部30と、少なくとも1以上のノズル211を有し、ノズル211から欠陥部分Dに向けて液状体を吐出する第2吐出部40と、描画検査部30からの情報に基づいて、第2吐出部40を欠陥部分Dに相対移動させる第2移動部50とを備えるようにした。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

基板上の所定位置に液状体を配置してパターンを描く描画装置において、 複数のノズルから前記基板に向けて液状体を吐出する第1吐出部と、 前記第1吐出部と前記基板とを相対移動させる第1移動部と、 前記第1吐出部が描画したパターンの欠陥部分を検出する描画検査部と、 少なくとも1以上のノズルを有し、該ノズルから前記欠陥部分に向けて液状体を吐出する第2吐出部と、 前記描画検査部からの情報に基づいて、前記第2吐出部を前記欠陥部分に相対移動させる第2移動部と、を備えることを特徴とする描画装置。

IPC (3件)：

B05C5/00 ,  B05D1/26 ,  B41J2/01

FI (3件)：

B05C5/00 101 ,  B05D1/26 Z ,  B41J3/04 101Z

Fターム (33件)：

2C056FA04 ,  2C056FA10 ,  2C056FB01 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC86 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075CA22 ,  4D075CA23 ,  4D075CB07 ,  4D075CB08 ,  4D075DA06 ,  4D075DA27 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DB48 ,  4D075DB55 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EC07 ,  4D075EC11 ,  4D075EC17 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA38 ,  4F041BA60