特許
J-GLOBAL ID：200903010800105847
光変調装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-060694
公開番号（公開出願番号）：特開2002-258178
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：
【要約】【課題】 本発明は光反射部を有する梁が静電引力の作用で変形しやすくしてより小さい駆動電圧で梁を駆動できることを課題とする。【解決手段】 光変調装置では、撓み部位110が、両端固定梁105の一部に形成されており、特に一方の固定端105aの近傍に形成されている。又、撓み部位110は、空隙108側にV字状に曲げられており、且つその頂点の稜線112の延在方向が固定端105aの接線方向(幅方向)と平行であるように形成されている。これにより、両端固定梁105は、静電引力が作用することにより、撓み部位110の変形に伴って空隙108側に傾斜することができる。そのため、両端固定梁105を駆動する力が小さくなり、電極103及びパッド107に印加される駆動電圧が小さくて済む。
請求項（抜粋）：
入射する光束が、任意の光反射領域において反射方向を変えることにより変調される光変調装置において、基板上の凹部に形成された電極と、該電極と空隙を介して対向するように両端が前記基板に固定された梁と、該梁上の任意の箇所に形成された光反射部と、前記梁の任意の箇所に形成され、前記電極に電圧が印加されて生じる静電引力により前記光反射部の向きを変更して光束の変調が行われるように変形する撓み部位と、を有することを特徴とする光変調装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 26/08 E
, H04N 5/74 B
2H041AA11
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
, 5C058AA18
, 5C058AB05
, 5C058BA26
, 5C058BA33
, 5C058BA35
