特許

J-GLOBAL ID：200903010801199683

光変調装置及びその製造方法

発明者： 黒沢 龍一 ,  紙透 真一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-165142
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357777
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】 高い信頼性で容易に基板間の接合を行える光変調装置及びその製造方法を提供することにある。【解決手段】 光変調装置の製造方法は、駆動電極130と微小ミラー220との電位差により生じる静電気力により、微小ミラー220を傾斜駆動させる光変調装置を製造する方法であって、駆動電極130が形成される第1基板100Aと、微小ミラー220が形成される第2基板200Aと、のそれぞれの接合面をエッチングして、結合力が発現するように活性化させることと、第1及び第2基板100A、200Aを、重ね合わせることで接合することと、を含む。

請求項（抜粋）：

駆動電極と微小ミラーとの電位差により生じる静電気力により、前記微小ミラーを傾斜駆動させる光変調装置を製造する方法であって、前記駆動電極が形成される第1基板と、前記微小ミラーが形成される第2基板と、のそれぞれの接合面をエッチングして、結合力が発現するように活性化させることと、前記第1及び第2基板を、重ね合わせることで接合することと、を含む光変調装置の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 26/08 ,  B81C 1/00 ,  B81C 3/00

FI (3件)：

G02B 26/08 E ,  B81C 1/00 ,  B81C 3/00

Fターム (6件)：

2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08