特許
J-GLOBAL ID:200903010804567063
平板状セラミックヒータとその製造方法、並びにそれを用いた検出素子
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-343007
公開番号(公開出願番号):特開2004-178942
出願日: 2002年11月26日
公開日(公表日): 2004年06月24日
要約:
【課題】発熱部と引き出し部との接続部の段差を解消し、高温発熱時の耐久性に優れたセラミックヒータとそれを簡便な方法で製造可能な製造方法、さらにはそれを具備する検出素子を提供する。【解決手段】セラミック絶縁層1の表面または内部に、発熱部2と引き出し部3とを具備する発熱体パターンが形成されてなるセラミックヒータにおいて、発熱部2における幅w1が引き出し部3における幅w2よりも小さく、接続部6における幅が傾斜をもって変化しており、且つ発熱部2における厚みt1、引き出し部3における厚みt2よりも小さく、発熱部2と引き出し部3の接続部6の厚みが傾斜をもって変化していることを特徴とする。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
セラミック絶縁層の表面または内部に、発熱部と引き出し部とを具備する発熱体パターンが形成されてなるセラミックヒータにおいて、前記発熱部における幅が前記引き出し部における幅よりも小さく、前記発熱部と前記引き出し部の接続部における幅が傾斜をもって変化しており、且つ前記発熱部における厚みが前記引き出し部における厚みよりも小さく、前記接続部の厚みが傾斜をもって変化していることを特徴とする平板状セラミックヒータ。
IPC (4件):
H05B3/03
, H05B3/10
, H05B3/18
, H05B3/20
FI (4件):
H05B3/03
, H05B3/10 A
, H05B3/18
, H05B3/20 393
Fターム (35件):
3K034AA02
, 3K034AA10
, 3K034AA15
, 3K034AA34
, 3K034AA37
, 3K034BA06
, 3K034BA15
, 3K034BA17
, 3K034BB06
, 3K034BB14
, 3K034BC04
, 3K034BC16
, 3K034CA02
, 3K034CA14
, 3K034CA26
, 3K034CA32
, 3K034HA09
, 3K034JA01
, 3K034JA10
, 3K092PP15
, 3K092QA10
, 3K092QB02
, 3K092QB18
, 3K092QB30
, 3K092QB31
, 3K092QB45
, 3K092QB74
, 3K092RF03
, 3K092RF11
, 3K092RF17
, 3K092RF30
, 3K092SS18
, 3K092VV08
, 3K092VV16
, 3K092VV22
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開平3-149791
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セラミックヒータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-244374
出願人:日本特殊陶業株式会社
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