特許

J-GLOBAL ID：200903010805930153

運動センサの構造および内部接続方法

発明者： 岡田 恵也
出願人/特許権者： マイクロストーン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-318566
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090384
出願日： 2000年09月13日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】 板状のセンサ振動体の接続に適し、製造が合理的でコストが低く、強度および耐久性があり、小型に構成でき、センサ振動体に強い力がかかることもなく、SMD実装用容器にも適した運動センサの内部におけるセンサ振動体の電極接続構造および接続方法を提供すること。【解決手段】 容器の外部に通じる内部電極と、容器内に支持されたセンサ振動体を含む運動センサの構造であって、前記内部電極の各々と前記センサ振動体の表面の電極膜の各々とは、小型のブロック状の導電チップにより接続されていること。また導電チップの載置される内部電極面と電極膜面とを同一平面とすること。また好適構造例として円板型の加速度センサの構成を提示した。また汎用の実装機を用いて導電チップを載置しロウ付けする内部接続方法を提示した。

請求項（抜粋）：

容器およびその内部にセンサ振動体を含む運動センサの構造であって、前記容器は蓋部材と絶縁材料から成る基体より成りほぼ直方体状の箱型に成形され、その基体側の外部表面には必要な個数の外部電極が設けられ、該複数個の外部電極はそれぞれ前記基体の内部電極に連結しており、前記センサ振動体はその運動を圧電的に検出するための複数の電極膜を表面に有しており、そして前記内部電極の各々と前記電極膜の各々とは、小型のブロック状の導電チップにより接続されていることを特徴とする運動センサの構造。

IPC (6件)：

G01P 15/09 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/18 ,  G01P 15/08 ,  H01L 41/08 ,  G01C 19/56

FI (6件)：

G01P 15/09 ,  G01P 9/04 ,  G01C 19/56 ,  G01P 15/00 K ,  G01P 15/08 P ,  H01L 41/08 Z

Fターム (5件)：

2F105BB12 ,  2F105BB13 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CC04