特許
J-GLOBAL ID：200903010810630303
変位検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
今 誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-143689
公開番号（公開出願番号）：特開平5-309551
出願日： 1992年05月11日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】 検出軸2のX、Y軸とZ軸との振動減衰能を、ほぼ同等の適正値に設定可能とした変位検出装置を提供する。【構成】 変位検出軸2のZ方向の零ポイント補正機構を省略し、同軸を含む可動部材を粘性流体に浸漬してなる変位検出装置であって、前記検出軸2にフランジ状ピストン9を設け、該ピストン9を非接触で、微小間隙を有してシリンダ10と節状部材11とで取り囲んで流体空間15を形成する。検出軸2が変位したとき流体空間15の容積が変わり、その際、内部の流体が微小間隙を流通するときの粘性抵抗によって振動減衰が生ずる。この微小間隙を適切な値にして、X、YおよびZ軸方向の振動減衰能を、ほぼ同等の適正値に設定する。
請求項（抜粋）：
ハウジングと、前記ハウジングと同軸に設けられ同ハウジングを貫通し先端にスタイラスを装着した検出軸と、前記検出軸の先端側に配置されて一端を前記ハウジングの端に他端を前記検出軸に固定し、かつ、同検出軸を同心円状に包囲し前記検出軸の軸線方向に多数の波形部を連続形成してなるベローズと、前記検出軸を同心に内包する、円筒状で両端部が前記検出軸の軸線方向に対して直角で互いに隔離し、かつ平行に配置された平面上にあるような円環端面を形成する中空部材と、中央部が前記検出軸に、また外周縁部が前記中空部材の両円環端面円環に、それぞれ固定され、かつ相互に平行に配置された薄肉平板と、両端を前記中空部材の両円環端面に固定し同部材円筒面母線方向に平行に、かつ、その中央部を前記ハウジングに固定し、前記検出軸を囲んで同心的に、かつ、等間隔に配置した複数個のリボンと、前記検出軸の変位を検出する測定器と、前記ハウジング内に入れた流体と、前記検出軸と前記中空部材との間に設けられ、前記検出軸の軸線方向の振動減衰能を与える減衰機構とから構成されたことを特徴とする変位検出装置。
IPC (4件)：
B23Q 35/30
, G01B 5/00
, G01B 5/20
, G01B 21/20 101
