特許
J-GLOBAL ID：200903010811298850
単結晶試料のX線回折測定における多重反射効果の除去方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 寿武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-226773
公開番号（公開出願番号）：特開平9-072865
出願日： 1995年09月04日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：
【要約】【課題】 客観的手法をもって多重反射効果による誤差をなくし、高精度な単結晶試料のX線回折測定を実現する。【解決手段】 四軸型X線回折装置を使用して単結晶試料にX線を照射し同試料で反射した回折X線の反射強度を測定する。続いて、単結晶試料に対するX線の照射点Oを通り回折X線の反射面Pに直交する軸(ψ軸)を中心に、単結晶試料を任意の角度回転させ、再び回折X線の反射強度を測定する。このようにして少なくとも三つ以上の測定データを収集し、それらの測定データのうち明らかに他の測定データと異なる値を示す測定データを、多重反射効果による誤差を含んだものとして、測定データから取り除く。
請求項（抜粋）：
四軸型X線回折装置を使用して単結晶試料にX線を照射し同試料で反射した回折X線の反射強度を測定する強度測定工程を含むX線回折測定において、前記単結晶試料に対するX線の照射点を通り前記回折X線の反射面に直交する軸を中心に、前記単結晶試料を任意の角度回転させて前記強度測定工程を繰り返すことを特徴とする単結晶試料のX線回折測定における多重反射効果の除去方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 23/207
, G21K 1/06 L
