特許

J-GLOBAL ID：200903010817206884

電磁式アライメント装置

発明者： ダニエル ガルバート ,  ジェオフレイ オコノール
出願人/特許権者： エスヴイジイ リゾグラフィ システムズ、インク.
代理人 (1件)： 林 孝吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-108523
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252034
出願日： 1993年05月10日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 より正確かつ精密なウェーハステージを提供すること。【構成】 電磁式サブステージ14と電磁式モノリシックステージ40は、両者の間に位置する単一の基準面を有する一方に他方が従動するよう結合されている。モノリシックステージ40にはU字形ブラケット36によりX-Y方向に移動自在なリニアモータを有するサブステージ14が取り付けられている。この本体をX、Y、Z方向に精密に移動させ、Z軸を中心に回転させるフラットな電磁コイルにより懸架されている。モノリシックステージ位置決めコイルは、それぞれの磁気構造体内の中心に位置するよう、従動制御手段はモノリシックステージの運動をサブステージにリンクすなわちトラッキングする。モノリシックステージに取り付けられた調節自在な機械式ストッパーは、モノリシックステージのフォーカスすなわちZ方向への走行を制限する。

請求項（抜粋）：

ベースと、該ベースに載ったサブステージと、前記サブステージに連動し、前記サブステージの位置を制御するためのモータ手段と、モノリシックステージと、前記サブステージと前記モノリシックステージとの間に位置する基準面と、前記モノリシックステージに取り付けられ、前記基準面上に前記モノリシックステージを懸架し、かつ位置決めするためのサスペンション手段と、前記モノリシックステージおよび前記基準面と連動し、前記モノリシックステージを前記基準面からの所定距離内に維持するためのストッパー手段と、前記モノリシックステージに連動し、前記モノリシックステージの位置を検出するための検出手段と、前記サブステージ、前記モノリシックステージおよび検出手段とに連動し、前記モノリシックステージの概略位置に従うよう前記サブステージの位置を制御するための従動制御手段とから成る電磁式アライメント装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B23Q 1/18 ,  B23Q 5/28 ,  H01L 21/68

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平2-035709
  
• 特開平4-013533
  
• 特開平3-262114
  
• 特開平1-259405