特許
J-GLOBAL ID：200903010817627375
自己診断装置及び自己診断方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-283830
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135299
出願日： 1996年10月25日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 半導体集積回路の試験工程におけるM.T.T.R.を最小限に抑制し、半導体試験装置群の性能及び機能管理を総合的に合理化する。【解決手段】 診断プログラムチャート11には、各試験装置A〜Zが有する診断プログラム「あ」〜「わ」の情報が記憶されている。全試験装置の稼働率/故障率の累積登録データベース14により、試験装置毎の最新稼働率テーブル15及び診断プログラム毎の累計故障率テーブル16が求められる。つぎに、ホストコンピュータ1では、試験装置毎最新稼働率及び/又は診断プログラム毎累計故障率に基づいて、診断プログラムチャート11を変更して対象診断プログラムレジスタ12を作成する。これら診断プログラムレジスタ12及び試験装置毎対象空き時間17のデータを基に、診断プログラムが優先度の高い順に選択され、診断候補リスト13が作成される。
請求項（抜粋）：
半導体装置を試験するための複数の試験装置を備え、前記試験装置を自己診断するための自己診断装置において、複数の自己診断処理のうち、前記試験装置を診断するための所定の自己診断処理を、前記試験装置毎に記憶した診断処理記憶手段と、前記試験装置毎の前記自己診断処理別の所定パラメータを記憶したパラメータ記憶手段と、前記パラメータ記憶手段に記憶された前記所定パラメータに応じて、前記試験装置毎に、前記診断処理記憶手段に記憶された前記所定の自己診断処理に前記所定パラメータに応じて優先度を与える優先手段と、前記試験装置毎の対象空き時間を記憶した空き時間記憶手段と、前記空き時間記憶手段に記憶された前記対象空き時間に応じて、前記対象診断記憶手段における各々の前記試験装置に対する所定の前記自己診断処理を、前記優先手段による優先度に基づいて選択する選択手段とを備えた自己診断装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 Z
, G01R 31/26 Z
