特許
J-GLOBAL ID：200903010831838281
弾性表面波素子を用いたセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-206203
公開番号（公開出願番号）：特開平8-068780
出願日： 1994年08月31日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】【目的】 センサ出力の計測手段を簡単にする。【構成】 圧電性基板21の表面に入力用IDT電極22と出力用IDT電極23、24を設け、出力用IDT電極間にはセンシング対象物質の付着・浸透によって弾性表面波の伝搬時間を変える機能性薄膜25を設け、入力用IDT電極はパルス信号発生器26によって一定の周期を持つパルスで励起し、このときに基板を伝搬してくる弾性表面波が出力用IDT電極に同時に到着するか否かによってその出力を加え合わせた信号に振幅の変化を発生させ、この振幅の変化を信号レベル検出器27によって検出する。これにより、センシング対象物質の付着・浸透の度合いを信号の振幅変化で検出できるようにする。
請求項（抜粋）：
圧電性基板の表面に設けられ、一定の周期を持つパルスで励起される入力用IDT電極と、前記圧電性基板の表面に設けられ、前記入力用IDT電極から該基板を伝搬してくる弾性表面波の進行方向に間隔を有して設けられる複数の出力用IDT電極と、前記複数の出力用IDT電極の信号出力を加え合わせた信号の振幅を検出する信号レベル検出器とを備え、センシング対象物質が前記圧電性基板に付着する度合いを前記信号レベル検出器の入力信号の振幅変化として検出することを特徴とする弾性表面波素子を用いたセンサ。
IPC (2件)：
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