特許

J-GLOBAL ID：200903010840227686

走査型プローブ顕微鏡

発明者： 蓮村 聡
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055493
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249645
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構成でカンチレバーと光学系の位置合わせを行う走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 光路25は円筒型スキャナ中央空洞部分を通るため、微動機構28の移動と光路25の移動は同期している。カンチレバー保持台29に設置されたカンチレバー22は、ヘッド部に付属するカンチレバー取り付け部30近傍まで、位置制御装置27とXYステージ23を用いて自動移送される。光路25とカンチレバー22背面が重なり且つ変位センサ26に入射する探針21からの反射光強度が最大になる位置に微動機構28を用いて微調整を行う。その後にカンチレバー取り付け部30とカンチレバー保持台29を接近させ、カンチレバー22をカンチレバー取り付け部30に設置する。

請求項（抜粋）：

先端の鋭い探針を有するカンチレバーと、カンチレバーの変位を検出する光学系と、カンチレバーと試料を相対的に移動させる微動・ 粗動機構と、カンチレバー試料間距離を任意に保つ制御系から構成される走査型プローブ顕微鏡において、微動機構にカンチレバーと光学系の位置合わせと測定時のカンチレバー走査の二つの機能を持たせたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/10 ,  G01N 13/16 ,  G01B 21/30

FI (3件)：

G01N 37/00 U ,  G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z

Fターム (22件)：

2F069AA54 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069DD06 ,  2F069DD25 ,  2F069DD26 ,  2F069DD27 ,  2F069GG02 ,  2F069GG07 ,  2F069GG35 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069GG58 ,  2F069HH04 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ04 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM23 ,  2F069MM32 ,  2F069PP02 ,  2F069QQ05