特許

J-GLOBAL ID：200903010853768236

レーザ走査顕微鏡装置

発明者： 大木 裕史
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-142226
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333510
出願日： 1994年06月02日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 共焦点構成の優れた解像力を維持しつつもリアルタイムでの試料像の形成が可能な共焦点型レーザ走査顕微鏡を得る。【構成】 集光光学系にて集光される試料面を介した戻り光よるスポット像の結像面上に配置した各々外部からの電気信号によって結像面に対して予め定められた角度だけ傾斜可能に設けられた複数の微小ミラーからなるスポット選択手段を備え、制御手段によって、複数の微小ミラーのうち、少なくとも集光光学系によって形成されたスポット像の中心に位置する微小ミラーに対して電気信号を与え、該電気信号によって傾斜した微小ミラーによる反射光が検出器へ入射するように制御する共焦点型のレーザ走査顕微鏡装置。

請求項（抜粋）：

光源と、該光源からの光によって試料面上に光スポットを形成する照明光学系と、該光スポットを前記試料面上で2次元的に走査する走査手段と、前記試料面を介した戻り光をスポット状に集光する集光光学系と、該戻り光を検出して検出信号を出力する検出器と、前記検出信号に基づいて画像を表示するモニタとを有する共焦点型のレーザ走査顕微鏡装置において、前記集光光学系によるスポット像の結像面上に配列され、各々外部からの電気信号によって前記結像面に対して予め定められた角度だけ傾斜可能に設けられた複数の微小ミラーからなるスポット選択手段と、前記複数の微小ミラーのうち、少なくとも前記集光光学系によって形成された前記スポット像の中心に位置する微小ミラーに対して前記電気信号を与え、該電気信号によって傾斜した前記微小ミラーによる反射光が前記検出器へ入射するように制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするレーザ走査顕微鏡装置。