特許
J-GLOBAL ID：200903010855819849
研磨コンポジット部材間において精確な横方向間隔を有する研磨用品
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-000490
公開番号（公開出願番号）：特開平5-253852
出願日： 1993年01月06日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：
【要約】【目的】 予想可能な、ばらつきのない再現可能な仕上げを予想可能な切削速度で得ることができる研磨用品の製造方法を提供する。【構成】 A.それぞれがくぼんだ底面部および側壁部を有する複数のくぼみをその中に有する表面と、裏面とを有する型押支持体ウェブを設け;B.バインダー先駆物質中に分散された複数の砥粒からなる研磨スラリーでくぼみを充填し;C.表面と裏面とを有する基材シートを設け、D.少なくとも基材シートの表面の一部分が型押支持体ウェブの表面に接触するように、基材シートの表面を型押支持体ウェブの表面に積層し;E.バインダー先駆物質を硬化させて、基材シートの表面上に複数の研磨コンポジット部材を形成する工程からなることを特徴とする研磨用品の製造方法。
請求項（抜粋）：
A.それぞれがくぼんだ底面部および側壁部を有する複数のくぼみをその中に有する表面と、裏面とを有する型押支持体ウェブを設け;B.バインダー先駆物質中に分散された複数の砥粒からなる研磨スラリーでくぼみを充填し;C.表面と裏面とを有する基材シートを設け、D.少なくとも基材シートの表面の一部分が型押支持体ウェブの表面に接触するように、基材シートの表面を型押支持体ウェブの表面に積層し;E.バインダー先駆物質を硬化させて、基材シートの表面上に複数の研磨コンポジット部材を形成する工程からなることを特徴とする研磨用品の製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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