特許
J-GLOBAL ID：200903010859079610
露光装置およびデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-303328
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121362
出願日： 1997年10月20日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 基板搬送手段と基板チャック搬送手段を兼ねさせチャック専用の交換機構を不要にして、露光装置の省スペース化とコスト低減を図る。【解決手段】 被露光基板を保持する基板チャック3、それを支持するチャック支持手段(板)5、基板をチャック上に搬入搬出する基板搬送手段7、基板チャックを真空吸着し保持するためチャック支持板5に設けられた真空供給路である真空吸着孔及び吸着溝、基板を真空吸着保持するための真空吸着孔及び吸着溝、基板チャックをチャック支持板上に搬送するチャック搬送手段とを備えており、基板チャックに保持された基板に露光する。基板チャック3は露光基板と同程度の厚さを有し、基板搬送手段がチャック搬送手段を兼ねる。チャック支持板上の基板チャック上に順次供給保持される基板に露光する。基板チャックは基板チャックカセット8内にある洗浄機構で自動洗浄され、適時に基板搬送系で交換される。
請求項（抜粋）：
被露光基板を保持するための基板チャックと、前記基板チャックを支持するチャック支持手段と、被露光基板を前記基板チャック上に搬入しおよびそこから搬出する基板搬送手段と、前記基板チャックを前記チャック支持手段上に真空吸着して保持するために前記チャック支持手段に設けられた真空供給路である真空吸着穴および吸着溝と、被露光基板を前記基板チャック上に真空吸着して保持するために前記基板チャックに設けられた真空供給路である真空吸着穴および吸着溝と、前記基板チャックを前記チャック支持手段上に搬入しおよびそこから搬出するチャック搬送手段とを備え、前記チャック支持手段上の基板チャックに保持された被露光基板に対して露光を行う露光装置において、前記基板チャックは被露光基板と同程度の厚さを有し、前記基板搬送手段が前記チャック搬送手段を兼ねていることを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
H01L 21/30 503 C
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68 A
, H01L 21/30 502 J
