特許
J-GLOBAL ID：200903010865168226
インクジェットプリントヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 次男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-069292
公開番号（公開出願番号）：特開平6-115075
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：
【要約】【目的】強度が増し、且つ子型化したインクジェットプリントヘッドを提供すること。【構成】インクジェットプリントヘッドは、シリコン基板51の上表面内の溝15と、基板の底面から溝15に延びた複数個のスロット17とを含む複合インク供給スロットを有している。パターン化された薄膜層53、54、55等は基板上に溝15から離れて配置される。パターン化されたインク障壁層12は薄膜層上に配置される。インク障壁層12は伸長溝と整列した開口部14を有し、複数個の開口部14はインク室19を形成し、インク室19は溝と近接し、開口部14と連絡している。インクはスロット17および溝15を介して基板の外側から導入され、インク室19に入る。薄膜層は、金属化層、その上のパシベーション層を含み、溝はパシベーション層をオーバーエッチすることにより、有利に形成される。
請求項（抜粋）：
シリコン基板と、前記シリコン基板の上表面に形成された細長い溝と、前記シリコン基板を介して前記溝に通じている複数個のスロットと、前記シリコン基板の上表面に前記溝から離れて配置された複数個のパターン化された薄膜層と、前記薄膜層の上に配置され、前記溝に近接して複数個のインク室を形成するインク障壁層とより成り、前記インク障壁層は前記溝と整列し且つ前記インク室と通じた開口部を有し、インクは、前記スロットと溝を通ってプリントヘッドの外側から前記インク室に導入されるインクジェットプリントヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
