特許
J-GLOBAL ID：200903010865567155
ドライエッチング装置およびドライエッチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-047883
公開番号（公開出願番号）：特開平5-217964
出願日： 1992年02月04日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、エッチングチャンバ内に集塵能力が高い静電集塵器を設けることにより、エッチングチャンバ内の清浄度の向上を図る。【構成】 ドライエッチング装置10のエッチングチャンバ11の内側壁21に静電集塵器31を設けるとともに、静電集塵器31にスイッチ34を介して静電発生器35を接続したものである。また上記静電集塵器31を着脱器(図示せず)を介してエッチングチャンバ11の内側壁21に設けたものである。上記ドライエッチング装置を用いたドライエッチング方法であって、スイッチ34をOFF状態にして、エッチングチャンバ11内で試料90をドライエッチングした後、スイッチ34をON状態にして、エッチングチャンバ11内の塵埃を静電集塵器31で吸着するドライエッチング方法である。
請求項（抜粋）：
エッチングチャンバを備えたドライエッチング装置において、前記エッチングチャンバの内側壁に静電集塵器を設けるとともに、前記静電集塵器に接続する静電発生器を設けたことを特徴とするドライエッチング装置。
引用特許：
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