特許
J-GLOBAL ID：200903010866673897
光起電力装置の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鳥居 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-326390
公開番号（公開出願番号）：特開平5-136443
出願日： 1991年11月13日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】 この発明は、生産性を落すことなく、膜質をあげることがきできる光起電力装置の製造装置を提供することを目的とする。【構成】 この発明の光起電力装置の製造装置は、複数個の反応室20,30,40をそれぞれ仕切弁51を介して直列に接続し、各室で個々の成膜を行なって光起電力装置を製造する装置において、少なくとも1つの反応室30は、放電電極31と、この放電電極31に電力を供給する電源手段34,35と、反応室30内に原料ガスを導入するガス供給手段32,33を具備する。反応室30には2つ以上の放電領域31a,31bを備え、夫々の放電領域31a,31bにガス供給手段32,33より別々のガスを供給する。
請求項（抜粋）：
複数個の反応室をそれぞれ仕切弁等を介して直列に接続し、各室で個々の成膜を行なって光起電力装置を製造する装置において、少なくとも1つの反応室は、放電電極と、この放電電極に電力を供給する電源手段と、上記反応室内に原料ガスを導入するガス供給手段を具備し、且つ少なくとも上記反応室には2つ以上の放電領域を備えると共に上記ガス供給手段は夫々の放電領域に別々のガスを供給可能に構成したことを特徴とする光起電力装置の製造装置。
IPC (5件)：
H01L 31/04
, C23C 16/50
, C30B 25/08
, C30B 25/14
, H01L 21/31
