特許
J-GLOBAL ID：200903010868979438
エッチング終点検出方法及びエッチング終点検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
柏谷 昭司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-280028
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129598
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：
【要約】【課題】 エッチング終点検出方法及びエッチング終点検出装置に関し、様々なプロセス要因により検出信号のレベル及び変化が小さくなった場合にも、安定したエッチング終点の検出を行う。【解決手段】 検出条件を決定した時の検出信号を基準信号Vref として記憶し、この基準信号とエッチング処理に伴う特定波長の光1の発光強度を検出した検出信号Vd とを比較し、この比較出力によって信号増幅回路4の増幅率を制御する。
請求項（抜粋）：
被処理基板をプラズマエッチングする際に発生する光の内の特定波長の光の発光強度の変化によりエッチング終点を検出するエッチング終点検出方法において、検出条件を決定した時の信号を基準信号として記憶し、エッチング処理に伴う前記特定波長の光の発光強度を検出した検出信号と前記基準信号とを比較し、この比較出力によって信号増幅回路の増幅率を制御することを特徴とするエッチング終点検出方法。
IPC (4件)：
H01L 21/3065
, C23F 4/00
, G01N 21/71
, H01L 21/66
H01L 21/302 E
, C23F 4/00 F
, G01N 21/71
, H01L 21/66 P
