特許

J-GLOBAL ID：200903010874162281

セラミックス・グリーンシート

発明者： 尾形 知彦 ,  田中 剛 ,  正木 孝樹
出願人/特許権者： 東レ株式会社
代理人 (1件)： 谷川 英次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-098125
公開番号（公開出願番号）：特開平10-279364
出願日： 1997年04月01日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：

【要約】【課題】 フォトマスクのパターン通りのビアやラインパターンを形成することが可能な感光性セラミックス・グリーンシートを提供すること。【解決手段】 無機粒子と感光性有機成分とから成るセラミックス・グリーンシートであって、その表面において、評価長さ4mm、カットオフ値0.8mmの場合に、JIS B0601に準拠する算術平均粗さが、1μm以下であるセラミックス・グリーンシート。

請求項（抜粋）：

無機粒子と感光性有機成分とから成るセラミックス・グリーンシートであって、その表面において、評価長さ4mm、カットオフ値0.8mmの場合に、JIS B0601に準拠する算術平均粗さが、1μm以下であるセラミックス・グリーンシート。

IPC (4件)：

C04B 35/622 ,  C04B 35/632 ,  G03F 7/027 511 ,  H05K 1/03 610

FI (4件)：

C04B 35/00 G ,  G03F 7/027 511 ,  H05K 1/03 610 D ,  C04B 35/00 108