特許

J-GLOBAL ID：200903010874414116

回路パターン検査装置

発明者： 大竹 文夫 ,  竹島 正明 ,  坂本 幸一
出願人/特許権者： 株式会社オプト・システム
代理人 (1件)： 中村 茂信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-144195
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343484
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】 最適なタイミングで動作して、パターンの適否及び短絡位置を判定する回路パターン検査装置を提供する。【構成】 隣接する導電パターンの両端に同時に接触しうるよう設置される第1〜第4の測定子N1 〜N4 と、各測定子が導電パターンに接触しうる状態のままで両者の相対位置を導体パターンと直交する方向に移動させる移動テーブル1及びモータ2と、移動テーブル1の移動を検知して導電パターンのパターン間隔に対応したタイミング信号を発生する手段3〜5と、タイミング信号に同期して第1の測定子N1 に電圧を供給する電源部7と、この状態における他の測定子N2〜N4 の出力信号を検出する検出部8と、測定子からの出力信号に基づいて当該導体パターンの適否及び短絡位置を判定する判定部9を備える。

請求項（抜粋）：

複数の導電パターンが一定間隔ごとに互いに平行に設けられている回路パターンにおいて、複数個の測定子が前記導電パターンをなぞってゆくことによって導電パターン各々の適否を検査する回路パターン検査装置であって、前記導電パターンの両端に同時に接触しうるよう設置される第1と第2の測定子、及び、この2つの測定子が特定の導電パターンに接触している状態でこれと隣接する導電パターンに接触する第3の測定子とからなる測定子群と、この測定子群が前記導電パターンに接触しうる状態のままで、両者の相対位置関係を前記複数の導電パターンと直交する方向に移動させる搬送手段と、この移動速度を検知して前記複数の導電パターンのパターン間隔に対応したタイミング信号を発生するタイミング信号発生手段と、このタイミング信号に同期して前記第1の測定子に検査信号を供給し、この状態における前記第2及び第3の測定子の出力信号を検出することによって、各導電パターンの適否を順次に判定してゆく検査手段とを備えることを特徴とする回路パターン検査装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-005377
  
• 特開昭63-172973