特許
J-GLOBAL ID:200903010875295528
マイクロレンズアレイの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
渡辺 敬介
, 山口 芳広
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-288151
公開番号(公開出願番号):特開2009-113311
出願日: 2007年11月06日
公開日(公表日): 2009年05月28日
要約:
【課題】マイクロレンズアレイを安価に製造する方法、及びそのマイクロレンズアレイの径とピッチを設計可能にする製造方法を提供する。【解決手段】基板1にレンズ形状決定用粒子2の自己組織化現象を利用して前記レンズ形状決定用粒子2からなる粒子膜を形成する工程と、基板3に樹脂層4を形成する工程と、粒子膜が形成された基板1と樹脂層4が形成された基板3を対向させ所定の圧力でプレスする工程と、プレス後に基板1と基板3を剥離する工程と、レンズ形状決定用粒子2をプレスすることにより生成された穴を有する基板3をモールドとしてマイクロレンズアレイ7を製造する工程と、を含むことを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板(1)にレンズ形状決定用粒子の自己組織化現象を利用して前記レンズ形状決定用粒子からなる粒子膜を形成する工程と、
基板(3)に樹脂層を形成する工程と、
粒子膜が形成された基板(1)と樹脂層が形成された基板(3)を対向させ所定の圧力でプレスする工程と、
プレス後に基板(1)と基板(3)を剥離する工程と、
レンズ形状決定用粒子をプレスすることにより生成された穴を有する基板(3)をモールドとしてマイクロレンズアレイを製造する工程と、
を含むことを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
IPC (3件):
B29D 11/00
, G02B 3/00
, B29C 33/38
FI (4件):
B29D11/00
, G02B3/00 A
, G02B3/00 Z
, B29C33/38
Fターム (23件):
4F202AA21
, 4F202AC05
, 4F202AC06
, 4F202AF01
, 4F202AG05
, 4F202AH75
, 4F202AJ03
, 4F202AJ05
, 4F202AJ09
, 4F202CA01
, 4F202CB01
, 4F202CD03
, 4F202CD04
, 4F202CD24
, 4F202CK11
, 4F213AH74
, 4F213AJ01
, 4F213AR07
, 4F213WA02
, 4F213WA04
, 4F213WA39
, 4F213WB01
, 4F213WC02
引用特許:
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