特許

J-GLOBAL ID：200903010882019676

静電チャック

発明者： 伊藤 淳 ,  伊藤 康隆
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-081183
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277595
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 チャック力の強い静電チャックを提供すること。【解決手段】 この静電チャック1では、セラミック質からなる絶縁基材2の内部に形成されたチャック電極層3,4への通電により、絶縁基材2のチャック面S1に被吸着物W1が静電的に吸着される。基材面方向に隣接して配置された異極のチャック電極層3,4間には遮蔽体層6が介在されている。

請求項（抜粋）：

チャック電極層への通電により、絶縁基材のチャック面に被吸着物が静電的に吸着される静電チャックにおいて、基材面方向に隣接して配置された異極のチャック電極層間に、遮蔽体層が介在されていることを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15

FI (2件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D

Fターム (4件)：

3C016GA10 ,  5F031CA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA18