特許
J-GLOBAL ID：200903010883800088
セラミック部品と金属部品との間の気密結合方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富村 潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-340208
公開番号（公開出願番号）：特開平6-318435
出願日： 1993年12月08日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：
【要約】【目的】 セラミック部品と金属部品との間を堅牢に気密に結合する方法を提供する。【構成】 セラミック容器1と金属引込線6との間を気密に結合するため、開口しているモリブデン管4がセラミック容器1の開口部内へ直接焼結される。次に、金属引込線6が開口しているモリブデン管4内へ導入される。モリブデン管4と金属引込線6とはモリブデン管4の外端部で相互に溶接される。
請求項（抜粋）：
セラミック部品は開口部を有する容器であり、金属部品はこの開口部に整合する形状を有してこの開口部を通って引込まれ、容器のセラミック材料はほぼ6.5〜9×10-6の熱膨張係数を有し、引込まれる金属部品は容器の熱膨張係数よりも小さい熱膨張係数を有するセラミック部品と金属部品との間を気密に結合する方法において、次の工程、a)セラミック容器(1)の熱膨張係数よりも小さい熱膨張係数を有して開口している金属管(4)をセラミック容器(1)の開口部内へ密閉手段(3)の介在下に直接焼結する、b)開口している金属管(4)内へ金属部品(6)を導入する、c)金属管(4)の外端部の領域で金属部品(6)と金属管(4)との間に形成されている間隙を気密に閉塞する、を有することを特徴とするセラミック部品と金属部品との間の気密結合方法。
IPC (3件)：
H01J 9/32
, C04B 37/02
, H01J 61/36
