特許

J-GLOBAL ID：200903010889611023

照明装置

発明者： 中津井 久 ,  伴 箕吉 ,  名倉 正人 ,  小林 正基 ,  飯塚 和央 ,  川原 信途 ,  高橋 俊昭
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-283640
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109443
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：

【要約】【目的】 種々の照明方法を容易に選択しあるいは組み合わせて用いることができ、また、観察光学系に対する照明装置の位置的修正を不要にする。【構成】 光源と、この光源と照明対象物との間に配置され光源からの照明光を反射する凸面鏡と、この凸面鏡に対し照明対象物とは反対の側に配置され凸面鏡が反射した照明光を集光して照明対象物を照射する凹面鏡とを具備する。また、照明対象物を観察する顕微鏡の対物レンズを顕微鏡本体に対して取り付けるための中間部材と、この部材に対して固定して取り付けられ照明対象物を照明する光源とを具備し、対物レンズは中間部材に取り付けたとき対物レンズの焦点位置と中間部材との位置関係が一定となるように構成されているものであり、かつ光源と中間部材との位置関係も一定である。

請求項（抜粋）：

光源と、この光源と照明対象物との間に配置され光源からの照明光を反射する凸面鏡と、この凸面鏡に対し照明対象物とは反対の側に配置され凸面鏡が反射した照明光を集光して照明対象物を照射する凹面鏡とを具備することを特徴とする照明装置。

IPC (4件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/84 ,  H01L 21/60 321 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-168501
  
• 特開昭57-101709
  
• 特開昭59-006535