特許
J-GLOBAL ID:200903010897136806

感光性組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 稔 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-311241
公開番号(公開出願番号):特開平5-150453
出願日: 1991年11月27日
公開日(公表日): 1993年06月18日
要約:
【要約】【構成】 一般式(I)又は(II)で表される構造を含有する水不溶かつアルカリ性水溶液に可溶な高分子化合物と、ポジ型に作用する感光性化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。 -〔CH2-CH(CO-X1-R1-SO2NH-R2)]- (I) -〔CH2-CH(CO-X2-R3-NHSO2-R4)]- (II)式中、X1 、X2 はそれぞれ-O-または-NR5 -を示す。R1 、R3 はそれぞれ置換基を有していてもよいアルキレン基、シクロアルキレン基、アリーレン基またはアラルキレン基を示す。R2 は水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、シクロアルキル基、アリール基またはアラルキル基を示す。またR4 は、置換基を有していてもよいアルキル基、シクロアルキル基、アリール基またはアラルキル基を示す。R5 は水素原子または置換基を有していてもよいアルキル基、シクロアルキル基、アリール基またはアラルキル基を示す。【効果】 塗布溶剤に対する溶解性、現像性、支持体への密着性、耐傷性、耐刷性にすぐれている。
請求項(抜粋):
一般式(I)又は(II)で表される構造を含有する水不溶かつアルカリ性水溶液に可溶な高分子化合物と、ポジ型に作用する感光性化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。 -〔CH2-CH(CO-X1-R1-SO2NH-R2)]- (I) -〔CH2-CH(CO-X2-R3-NHSO2-R4)]- (II)式中、X1 、X2 はそれぞれ-O-または-NR5 -を示す。R1 、R3 はそれぞれ置換基を有していてもよいアルキレン基、シクロアルキレン基、アリーレン基またはアラルキレン基を示す。R2 は水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、シクロアルキル基、アリール基またはアラルキル基を示す。またR4 は、置換基を有していてもよいアルキル基、シクロアルキル基、アリール基またはアラルキル基を示す。R5 は水素原子または置換基を有していてもよいアルキル基、シクロアルキル基、アリール基またはアラルキル基を示す。
IPC (6件):
G03F 7/039 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭63-127237
  • 特開平2-000866
  • 特開平2-167550
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