特許
J-GLOBAL ID：200903010899253427
感光性ペースト
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西村 教光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-300540
公開番号（公開出願番号）：特開平7-152153
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】フォトリソグラフィ法で高精度なパターン形成ができる体色が黄色の蛍光体を粉体材料として含む感光性ペーストを提供する。【構成】感光性ペーストは、分散剤と硬化剤と光重合開始剤と光重合促進剤を含有している感光性ビークルと、体色が黄色の蛍光体とから成る感光性ペーストにおいて、前記光重合開始剤が2,4 -ジエチルチオキサントン(DETX)と3,3,4,4-テトラ-(トリ-ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン(BTTB)から成る。フォトリソグラフィ法における紫外線の露光により、従来例に比較して充分な硬化反応が得られ、正確かつ精密なパターン形成が行えた。これは、BTTBを加えたことによって感光性ペーストが高感度化したためである。露光時には、DETXとBTTBがレドックス反応をし、更にトリエタノールアミンは、DETX及びBTTBとそれぞれ電荷移動錯体の形成を経て水素引き抜き反応を行う。
請求項（抜粋）：
分散剤と硬化剤と光重合開始剤と光重合促進剤を含有している感光性ビークルと、粉体材料とから成る感光性ペーストにおいて、前記光重合開始剤が2,4-ジエチルチオキサントン(DETX)と3,3,4,4-テトラ-(トリ-ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン(BTTB)から成ることを特徴とする感光性ペースト。
IPC (5件)：
G03F 7/031
, G03F 7/004 503
, G03F 7/004 505
, G03F 7/038
, H01J 31/15
