特許
J-GLOBAL ID：200903010900886030
ネガ型感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-284721
公開番号（公開出願番号）：特開平6-130664
出願日： 1992年10月22日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【構成】 ポリアミド酸のカルボキシル基に単又は多官能感光性基、更に低級アルコールを共有結合で導入したポリアミド酸エステル、ナフトキノンジアジド化合物及び光重合開始剤からなるネガ型感光性樹脂組成物。【効果】 高感度でかつ高解像度を有するネガ型のパターンが得られる。
請求項（抜粋）：
(A)下記式(1)で示されるポリアミド酸エステルと【化1】(B)ナフトキノンジアジド化合物及び(C)光重合開始剤を必須成分とするネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/038 504
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/022 501
, G03F 7/028
, H01L 21/027
