触針プローブ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-252971
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060542
出願日： 1991年09月04日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：

【要約】【目的】被測定物の形状を高精度に測定することができる触針プローブを得ること。【構成】一端に真球を固定した触針子を1軸方向にのみ移動可能となるようにハウジングに設け、該触針子の変位を変位センサーで検出することにより該被測定物面の形状を測定する触針プローブにおいて該触針子の他端の該1軸方向と直交方向の変位を該ハウジングを基準に測定する変位測定手段を設け、該変位測定手段からの信号を利用して該真球の位置ずれ量を求めたこと。

請求項（抜粋）：

触針子を1軸方向に移動可能となるようにした直動ガイドを介してハウジングに設け、該触針子の一端を被測定物面に接触させ、該触針子と該被測定物面とを該1軸方向とは異なる方向へ相対移動させ、該触針子の1軸方向の変位を該ハウジングに設けた変位センサーで検出することにより該被測定物面の形状を測定する触針プローブにおいて、該触針子の他端の該1軸方向と異なる方向の変位を該ハウジングを基準に測定する変位測定手段を設け、該変位測定手段からの信号を利用して該被測定物面に接触する該一端の位置ずれ量を求めた結果によって形状測定の補正を行ったことを特徴とする触針プローブ。

IPC (4件)：

G01B 21/00 , G01B 5/00 , G01B 21/20 , G01B 7/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-097504
特開昭49-107558

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