試料保持方法及び試料表面の流体処理方法並びにそれらの装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-106640
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264626
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】ベルヌーイ保持具において単純な装置構成での安定保持を達成することにより、装置体積が小さく、清浄性の高い、流体処理装置を実現する。【構成】試料保持面の形状を試料とほぼ同一とするか、あるいはベルヌーイ効果を生じさせる領域とそれを囲む領域とを特定の部材の組み合わせで構成した保持具20を用いるとともに、保持具20に流体供給源70、71を接続して、試料10の処理剤を含む1以上の流体を供給する。【効果】試料10端面に位置ずれを抑制する力が発生するため、安定した試料保持が可能となると共に、処理が行なわれる、試料-保持具間が狭小であり、かつ流体が常にこの処理空間から外部へ流れでるため、処理効率が高く、試料10の再汚染の可能性が少ない、小体積の流体処理装置を提供できる。

請求項（抜粋）：

保持すべき試料と、当該試料に対向する試料保持面との間に流体を流すことで生じるベルヌーイ効果を利用して、当該試料を非接触保持する試料保持方法において、保持されている試料の外周縁と試料保持面との間に作用する張力の大きさが急激に変る、当該試料保持面上に形成される境界で囲まれる領域の大きさが、前記試料の大きさと、当該試料保持面に対する試料の位置ずれを抑制すべき方向で、ほぼ同一となる構成を有する前記試料保持面に、ベルヌーイ効果を利用して、前記試料を非接触保持することを特徴とする試料保持方法。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B08B 3/10 , B08B 11/04 , H01L 21/304 341 , B23Q 3/08

FI (6件)：

H01L 21/68 N , H01L 21/68 C , B08B 3/10 Z , B08B 11/04 , H01L 21/304 341 M , B23Q 3/08 Z

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開昭61-229750
特開昭52-149071
特開昭62-016945

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