表面検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小塩豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-232954
公開番号（公開出願番号）：特開平11-072439
出願日： 1997年08月28日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】車体パネルの表面における傾斜角度の緩やかな凹凸,突起等のプレス欠陥をインラインにて高精度に検出できるようにする。【解決手段】車体パネル10の被検査面に照明光を照射する線状光源11,13と、被検査面を撮像しつつ被検査面からの反射光に基づいて受光画像を形成するCCDカメラ12,14と、CCDカメラにより得られる受光画像に基づいて被検査面上に存在する欠陥を検出しその検出情報を出力する検査処理手段とを備える表面検査装置において、被検査面の一方側斜め上方から被検査面に対して80°〜90°の入射角度αで照明光を照射するように線状光源11,13を配置し、被検査面の他方側斜め情報の位置にて、被検査面から入射角度αよりも小さい反射角度βで反射される前記照射光の乱反射光を受光するようにCCDカメラ12,14を配置する構成とした。

請求項（抜粋）：

被検査物体の被検査面に照明光を照射する照明手段と、被検査面を撮像しつつ被検査面からの反射光に基づいて受光画像を形成する撮像手段と、前記撮像手段により得られる受光画像に基づいて被検査面上に存在する欠陥を検出しその検出情報を出力する検査処理手段とを備える表面検査装置であって、前記照明手段は、被検査面の一方側斜め上方から被検査面に対して所定入射角度で照明光を照射するように配置され、前記撮像手段は、被検査面の他方側斜め上方の位置にて、被検査面から前記所定入射角度よりも小さい反射角度で反射される前記照明光の乱反射光を受光するように配置されている、ことを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/84 , G01B 11/30

FI (2件)：

G01N 21/84 Z , G01B 11/30 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

疵検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-181786 出願人：新日本製鐵株式会社
長尺物の外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-097291 出願人：豊田合成株式会社
表面層欠陥検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-207048 出願人：富士ゼロックス株式会社

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