特許
J-GLOBAL ID：200903010912634150
フルオロシラン
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055335
公開番号（公開出願番号）：特開平6-239610
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：
【要約】【構成】 一般式SiHnF4-n(n=1〜3の整数)で表されるフルオロシランにおいて、該フルオロシラン中に一般式SiHmF4-m(m=0〜4の整数で、かつm≠n)で表される化合物の含有量が2容量%以下であるフルオロシラン。【効果】 保存および輸送時に、ボンベ内でのガス組成の経時変化が少ない。
請求項（抜粋）：
一般式SiHnF4-n(n=1〜3の整数)で表されるフルオロシランにおいて、該フルオロシラン中に一般式SiHmF4-m(m=0〜4の整数で、かつm≠n)で表される化合物の含有量が2容量%以下であることを特徴とするフルオロシラン。
引用特許：
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